1) BCE(beam collimation error)
波束准直误差
3) Alignment of laser beam
光束对准误差
4) collimation error
视准误差;准直误差;瞄准误差
5) alignment error
校直误差，调准误差
6) BWE Beam Width Error
波束宽度误差
补充资料：Alignment对准
1. 定义：利用芯片上的对准键，一般用十字键和光罩上的对准键合对为之。2. 目的：在ic的制造过程中，必须经过6~10次左右的对准、曝光来定义电路图案，对准就是要将层层图案精确地定义显像在芯片上面。3. 方法：a.人眼对准b.用光、电组合代替人眼，即机械式对准。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条