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1)  photo-fabrication
光刻法,光加工
2)  laser carving
激光雕刻加工
3)  photoetching technology
光刻工艺
1.
In this passage,the steady photoetching technology of BP-212 positive photoresist is researched.
本文分别以玻璃片和AAO模板为基底,使用BP-212型紫外正性光刻胶,进行光刻工艺条件的研究,找到了在本实验条件下的稳定光刻工艺。
4)  Lithographic process
光刻工艺
1.
A method of simulating and optimizing lithographic process parameters is proposed based on the concept of effective time difference.
通过引入有效时差的概念 ,提出了一种可模拟光刻工艺参数间的相互关系及优化光刻参数的方法。
5)  photolithography [英][,fəutəli'θɔgrəfi]  [美][,fotolɪ'θɑgrəfɪ]
光刻工艺
1.
In the process of image transfer printing in photolithography technology, It is key link to determine the location of the image plane.
在光刻工艺的图形转印过程中,像平面位置的确定是重要的环节。
6)  laser graphic texturing
激光图形雕刻加工
1.
Using optimum design for experiment scheme,laser graphic texturing was adopted to form bionic non-smooth microstructure on the gear surface to study anti-wear capability of the gears.
利用试验优化技术设计试验方案,采用激光图形雕刻加工的手段实现齿轮表面仿生非光滑形态,研究非光滑与光滑两种形态齿轮的耐磨损性能。
补充资料:特种加工:激光加工
        用激光束对材料进行各种加工﹐如打孔﹑切割﹑划片﹑焊接﹑热处理等。激光加工有许多优点﹕①激光功率密度大﹐工件吸收激光后温度迅速升高而熔化或汽化﹐即使熔点高﹑硬度大和质脆的材料(如陶瓷﹑金刚石等)也可用激光加工﹔②激光头与工件不接触﹐不存在加工工具磨损问题﹔③工件不受应力﹐不易污染﹔④可以对运动的工件或密封在玻璃壳内的材料加工﹔⑤激光束的发散角可小于1毫弧﹐光斑直径可小到微米量级﹐作用时间可以短到纳秒和皮秒﹐同时﹐大功率激光器的连续输出功率又可达千瓦至十千瓦量级﹐因而激光既适于精密微细加工﹐又适于大型材料加工﹔⑥激光束容易控制﹐易于与精密机械﹑精密测量技术和电子计算器相结合﹐实现加工的高度自动化和达到很高的加工精度﹔⑦在恶劣环境或其它人难以接近的地方﹐可用机器人进行激光加工。
         激光打孔 采用脉冲激光器可进行打孔﹐脉冲宽度为0.1 1毫秒﹐特别适于打微孔和异形孔﹐孔径约为0.005~1毫米。激光打孔已广泛用于钟表和仪表的宝石轴承﹑金刚石拉丝模﹑化纤喷丝头等工件的加工(图1 激光加工的红宝石钟表轴承孔)。
         激光切割﹑划片与刻字 在造船﹑汽车制造等工业中﹐常使用百瓦至万瓦级的连续CO2 激光器对大工件进行切割﹐既能保证精确的空间曲线形状﹐又有较高的加工效率。对小工件的切割常用中﹑小功率固体激光器或CO2 激光器。在微电子学中﹐常用激光切划硅片或切窄缝﹐速度快﹑热影响区小。用激光可对流水线上的工件刻字或打标记﹐并不影响流水线的速度﹐刻划出的字符可永久保持(图2 激光刻字的样品)。
         激光微调 采用中﹑小功率激光器除去电子元器件上的部分材料﹐以达到改变电参数(如电阻值﹑电容量和谐振频率等)的目的。激光微调精度高﹑速度快﹐适于大规模生产。利用类似原理可以修复有缺陷的集成电路的掩模﹐修补集成电路存储器以提高成品率﹐还可以对陀螺进行精确的动平衡调节。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条