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1)  photolithography [英][,fəutəli'θɔgrəfi]  [美][,fotolɪ'θɑgrəfɪ]
光蚀刻微影
2)  photolithography [英][,fəutəli'θɔgrəfi]  [美][,fotolɪ'θɑgrəfɪ]
光蚀刻微影;光刻法;平印照相制板
3)  Photoassisted microetching
光助微刻蚀
4)  photolithography [英][,fəutəli'θɔgrəfi]  [美][,fotolɪ'θɑgrəfɪ]
光蚀刻微影;光石版照相术
5)  optical projection lithography
光学投影蚀刻
6)  potoeching
光刻,光蚀
补充资料:光蚀刻

光蚀刻

photoetching

简称光刻。利用照相手段制作抗蚀膜像,用来保护表面,在金属、塑料等上面,借助腐蚀剂进行腐蚀的方法。应用于制作印片或电器的线路板等。

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