补充资料：研磨抛光材料

分子式：
CAS号：

性质：集成电路、半导体器件中最重要的基础材料是硅片、硅片表面状况直接影响集成电路及器件的质量、成品率，加工硅片表面的材料称作研磨抛光材料。它包括磨料、磨液、抛光液等。

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