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1)  Micro-electronics Apparatus Technics
微电子器件工艺学
2)  microelectronics [英][,maɪkrəʊɪ,lek'trɔnɪks]  [美]['maɪkroɪ'lɛk'trɑnɪks]
微电子学<器件>
3)  microelectronic process
微电子工艺
1.
Design of microelectronic process multimedia computer assisted Instruction system;
微电子工艺多媒体教学系统的设计
4)  device technology
器件工艺学
5)  fabricating technique for exclusive part of vacuum electron device
真空电子器件专用零件加工工艺
6)  microelectronic devices
微电子器件
1.
The application of SEM to the Destructive Physical analysis(DPA)of electronic components was discussed with emphasis on localized observation,imaging and analysis of interconnection metallization abnormal defects of microelectronic devices.
探讨了在电子元器件破坏性物理分析(DPA)中,如何利用扫描电子显微镜(SEM)的高分辨、景深深、放大倍数高和立体感强等一系列技术特点,对微电子器件的互连金属化层异常缺陷进行定位观察、成像和分析的技术。
补充资料:清华大学微电子学研究所
清华大学微电子学研究所
清华大学微电子学研究所于1980年9月由中国国家教育部批准建立,位于清华大学校园内。全所现有建筑面积约10000平方米,是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的重要组成部分,开展各种领域的微纳电子学研究及集成电路设计、制造、系统集成技术的开发,具有一条较为完备的集成电路开发与工艺试验线,是信息科学国家实验室的组成部分,也是高素质微纳电子科技人才的培养基地。

清华大学微电子学研究所科研与教学设施先进,师资力量雄厚,拥有博士生导师13人。在1988年第一次国务院重点学科评选时,成为全国微电子学领域重点学科点。建所20年来,共培养学士千余名,硕士与博士300多名,向社会输送各层次优秀专业人才共计1300多人。近年来又建立了可以完成IC相关技术全面教育与培训的优良环境,开展了多种类型学位教育及专项技术培训,取得显著效益。根据学科发展的需要,2004年9月清华大学在微电子学研究所的基础上成立了微电子与纳电子学系,进一步提升了教学与科研水平,完善了管理体系。
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参考词条