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1)  photoetch pattern
光刻图案
2)  carving pattern
雕刻图案
3)  micropattern fabrication
微图案刻划
4)  etched pattern
光刻图形
5)  photoelectric scribing
光电刻图
6)  Carved ornaments
雕刻装饰图案
补充资料:光刻
    
  
  ? ±谜障喔粗朴牖Ц聪嘟岷系募际酰诠ぜ砻嬷迫【堋⑽⑾负透丛颖〔阃夹蔚?化学加工方法。光刻原理虽然在19世纪初就为人们所知,但长期以来由于缺乏优良的光致抗蚀剂而未得到应用。直到20世纪50年代,美国制成高分辨率和优异抗蚀性能的柯达光致抗蚀剂(KPR)之后,光刻技术才迅速发展起来,并开始用在半导体工业方面。光刻是制造高级半导体器件和大规模集成电路的关键工艺之一,并已用于刻划光栅、线纹尺和度盘等的精密线纹。
  
  光刻的基本原理是:利用光致抗蚀剂(或称光刻胶)感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点,将掩模板上的图形刻制到被加工表面上。光刻半导体晶片二氧化硅的主要步骤(见图)是:①涂布光致抗蚀剂;②套准掩模板并曝光:③用显影液溶解未感光的光致抗蚀剂层;④用腐蚀液溶解掉无光致抗蚀剂保护的二氧化硅层;⑤去除已感光的光致抗蚀剂层。
  
  光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子溶液,种类很多,根据光化学反应的特点一般可分为正性和负性两大类。凡用显影液能把感光的部分溶解去除的称为正性光致抗蚀剂;用显影液能把未感光的部分溶解去除的称为负性光致抗蚀剂。
  
  光刻的精度很高,可达微米数量级,为使蚀刻线条清晰、边缘陡直、分辨率小于1微米的超微细图形,可采用远紫外曝光、X射线曝光、电子束扫描曝光,以及等离子体干法蚀刻等新技术。
  
  参考书目
   李家植编:《半导体化学原理》,科学出版社,北京,1980。

  

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