补充资料：旋涂

分子式：
CAS号：

性质：电子工业中，基片垂直于自身表面的轴旋转，同时把液态涂覆材料涂覆在基片上的工艺。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。