1) wafer transfer robot
晶圆传输机器人
1.
As an important part of IC equipment, wafer transfer robot undertakes the transit of wafer precisely, fast and steadily.
晶圆传输系统是IC装备中必不可少的组成部分,其中的晶圆传输机器人是晶圆传输系统的关键部件,主要承担着晶圆的精确定位与快速、平稳搬运任务。
2) wafer transfer manipulator
晶圆传输机械手
1.
Combine with national 973 project of research on basic problems of very large scale integrated circuites, the paper mainly studies the error analyse and compensation of wafer transfer manipulator.
本课题结合国家973项目超大规模集成电路制造装备基础问题研究(2009CB724206),主要研究了晶圆传输机械手的误差分析与补偿。
3) wafer handling robot
晶圆移动机器人
1.
The structure of wafer handling robots includes three revolute joints and one vertical translational joint.
晶圆移动机器人具有三个平面旋转轴加上一个垂直方向的平移轴的结构。
4) precise conveying robot
精密传输机器人
1.
Optimum reliability distribution of precise conveying robot system based on precision and cost controls;
基于精度成本控制的精密传输机器人系统可靠度优化配置方法
5) wafer-handling robot
硅片传输机器人
1.
The design and implementation of wafer-handling robot controller based on PMAC;
基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现
2.
In this paper,the evolution of wafer-handling robot is reviewed,the typical structures of wafer-handling robot are discussed,the present research status of wafer-handling robot is analysed and the typical products are introduced.
本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品。
6) wafer robot
硅片传输机器人
1.
The design and research of radial and linear movement wafer robot;
径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究
2.
The study on wafer robot is paid more attention overseas, and the technological system has been formed.
硅片传输机器人是半导体制造业中重要的传输、定位设备,其工作的速度、定位精度和可靠性等直接影响硅片的生产效率和制造质量。
补充资料：110超远程精密跟踪雷达
５０年代起，国外就发展了弹道导弹武器等。我国为了积极防御，能探测几千里以外的入侵目标，必须研制超远程的预警、跟踪雷达，对外空目标的探测、跟踪，建立弹道导弹预警（空间监视）系统、防御系统。１９５８年提出研制超远程雷达。
雷达技术专家申仲义担起了这一十分艰巨的任务。他带领１４所工程技术人员从预先研究开始，在突破多项关键技术后才进入工程设计阶段。１９５９年他组织研制一部１１０模拟试验雷达，首次收到了离地球３８万公里的月球的较强回波，取得了观测外空目标的初步成果。１９６５年到１９７０年又开展了卡塞格伦式单脉冲天线、脉冲压缩、脉冲多卜勒测速、参量放大器、先进计算机的应用、大型天线结构及转台的研究。上述各种新技术的突破，为研制超远程１１０跟踪雷达作了前期工程准备，进入了工程实施阶段。１９７７年，我国第一部超远程跟踪雷达装备了部队。它能在２０００多公里以外跟踪非合作的外空目标，在我国发射洲际火箭、卫星等工程中多次执行了跟踪测量国外的外空目标的任务。１１０雷达的研制成功，使我国成为世界上第三个拥有这种大型雷达的国家。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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