1) BARC
底部抗反射膜
1.
Employing BARC in poly gate lithography process could narrow pattern difference within single chip and the stability of process can be improved to provide a sufficient margin of production with little cost.
底部抗反射膜在硅栅光刻工艺的应用,使不同光刻图案间的差异缩小到了制程可接受的范围,而且制程的稳定性也得以提高,提供了足够的生产允许波动裕量,成本增加并不大。
2) bottom anti-reflective coating
底层抗反膜
3) bottom mirror
底部反射镜
4) bottom reflector
底部反射层
5) bottom reflector
底部反射体
6) bottom antireflective coatings(BARC)
底层抗反膜(BARC)
补充资料：底部
底部——
股价长期趋势线的最低部分。
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参考词条