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1)  mesa process
台面工艺
2)  double-mesa technology
双台面工艺
1.
A large area multi-finger configuration power SiGe HBT device(with an emitter area of about 880μm2)was fabricated with 2μm double-mesa technology.
采用简单的双台面工艺制作了完全平面结构的5个单元、10个发射极指大面积的SiGe HBT。
3)  mesa epitaxial approach
台面外延工艺
4)  stage art and crafts
舞台工艺
5)  Process Boss
工艺凸台
6)  working surface of table
工作台台面
补充资料:台面
分子式:
CAS号:

性质:又称台面,描述晶体表面台阶结构中的一个平面。通常晶体的表面台阶结构由平台-台阶-扭折所构成,并以下式表示:R(S)-[m·(hkl)×n(h′k′l′)]+[uvw]。式中R为台阶表面的组成元素,(S)为台阶结构,(hkl)为平台的晶面指标,m为平台宽度(m个原子列),(h′k′l′)是台阶侧面的晶面指标,n为台阶的原子层高度,[uvw]为平台与台阶相交的原子列方向。

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