补充资料：阴极溅射室

分子式：
CAS号：

性质：一种测定固体试样的特殊原子化器。将试样车成空心棒状体，作为阴极密封于两端为光窗的金属圆筒中，充入惰性气体。阴、阳极之间加电压600V、电流60mA放电，使试样原子化。其放电原理与空心阴极灯相同。

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