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1)  Ion beam sources
辅助镀膜离子源
2)  ion source assisted coating
离子源辅助镀膜
3)  plasma-assisted coating
等离子体源辅助镀膜
4)  Ion assisted deposition
离子束辅助镀膜
5)  Electron beam evaporation by ion assisted deposition
离子辅助电子束镀膜
6)  ion-assisted deposition(IAD)
离子辅助镀
例句>>
补充资料：辅助
①从旁帮助：多加～。②辅助性的；非主要的：～劳动ㄧ～人员。
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