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1)  precision machining
精密加工
1.
Research on real-time synthetic monitoring technology for precision machining system;
精密加工系统综合实时监测技术研究
2.
Precision Machining Technology with Pre- compensation Based on laser Measuring;
基于激光测量的预补偿控制精密加工技术
3.
Study on precision machining Al_2O_3 by 248nm KrF excimer laser;
248nm KrF准分子激光精密加工Al_2O_3的实验研究
2)  precise machining
精密加工
1.
The Control Method & System of the Precise Machining Driven by Pzt;
本文介绍了一种最新开发的面向精密加工机床的压电陶瓷驱动微进给控制系统,该系统是一个集驱动、检测和补偿为一体的闭环系统。
3)  Precision processing
精密加工
1.
One of the basic principles of the laser measurement used in precision processing is studied, and a closedloop feedback control system of lasermeasured position of the machine worktable is produced, and the coordinate control illustrated diagram, suitable for controlling feed devices of many kinds of precision machines, is given.
分析了激光测距在精密机床加工中应用的基本原理,拟定了采用激光测量机床工作台位置的反馈式闭环控制系统,给出了控制机床进给的坐标控制原理图,适用于多种精密加工机床的进给控制。
4)  precision finishing
精密加工
5)  precision and ultra-precision machining
精密超精密加工
6)  ultraprecision machining
超精密加工
1.
Application of SPM in ultraprecision machining;
扫描探针显微镜在超精密加工中的应用
2.
Study on the degenerative layer in ultraprecision machining of aluminium composites;
精密加工铝基复合材料的切削变质层
3.
According to the requirements of development plan- ning in the future,we positively probe into the technology of precision and ultraprecision machining at home and overseas, and analyze its present status as well as propose the imple- mental methods and the considered problems.
根据未来工艺发展规划要求,积极探索国内外精密超精密加工技术,对该项技术的现状进行了分析,作出综述,并提出了实施该项技术的具体途径及所要考虑的问题。
补充资料:超精密加工
超精密加工
ultraprecision machining 
    20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代,加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米),表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求,需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他先进技术。超精密加工包括:①超精密切削加工。如超精密车削、镜面磨削、研磨等,常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、表面高度光洁的零件。②超精密特种加工。如机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀、分子束外延等,其原理是应用化学能、电化学能、热能或电能等,使这些能量超越原子间的结合能,从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形等,以达到超精密加工的目的。
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