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1)  Scattering Measurement System
散射测量系统
2)  light scattering measurement system (LSM)
光散射测量系统
3)  measuring system of scattering angular distribution
散射角分布测量系统
4)  scaling systems on laser scattering
激光散射测量系统
1.
In this paper the study of target laser scattering characteristics, all kinds of scaling systems on laser scattering have been founded by many domestic and overseas scholars.
本文研究的目标激光散射特性系统,国内外许多学者中都建立过各种激光散射测量系统
5)  scattering measurement
散射测量
1.
Effects of system imperfection on polarization scattering measurement of distributed targets;
系统误差对分布目标极化散射测量的影响
2.
The joint effect of nonlinear response characteristics and transmitting power fluctuation on scattering measurement is analyzed.
分析了非线性响应特性和发射功率波动对散射测量的联合效应,以及单独的散射测量在这种联合效应作用下产生误差的原因。
3.
This paper generalizes the normal polarimetric calibration model,and evaluates effects on full polarization scattering measurement of a point target from amplitude and phase inbalance of polar channels,crosstalk of antenna,Faraday rotation,target orientation error,interference and noise from system and environment.
在此基础上,评估了极化通道幅相不平衡、天线串扰、法拉第旋转、指向误差角、干扰和系统环境噪声对点目标全极化散射测量的影响,并考虑科学研究和应用需求对上述参数的约束条件,从而得到对极化合成孔径雷达系统设计和极化定标有参考价值的结论。
6)  scatterometry
散射测量
1.
To break the limitation of traditional methods and provide robust and non-destructive measurement solution for the nano-scale profiles in the wafer fabrication,scatterometry base optical profile measurement has been developed rapidly and already implemented in most advanced fabs.
为了解决CD-SEM等方法所面临的局限性,以及提供强有力的晶圆纳米级轮廓检测方案以满足生产的需求,基于散射测量法(Scatterometry)的光学轮廓测量得到了迅猛发展,其成为了很多国际化生产厂的重要CD兼轮廓测量的手段。
补充资料:弹性散射和非弹性散射
弹性散射和非弹性散射
elastic scattering and inelastic scattering
    使用粒子间碰撞来研究粒子的性质、相互作用和内部结构的两种情况。如果碰撞过程中两粒子间只有动能的交换,粒子类型、其内部运动状态和数目并无变化,则称为弹性散射或弹性碰撞。如果碰撞过程中除了有动能交换外,粒子的数目、类型和内部状态有所改变或转化为其他粒子,则称为非弹性散射或非弹性碰撞。
   散射过程的研究对于了解许多物理现象具有很重要的意义。例如E.卢瑟福对a粒子被物质散射的研究,提出原子的有核模型;J.弗兰克和G.L.赫兹的电子与原子碰撞实验证实了N.玻尔的定态假设;建造高能加速器就是利用被加速粒子的散射过程来研究粒子的性质、相互作用和相互转化的规律。60年代末到70年代初利用高能轻子对质子和中子的深度非弹性散射的实验,发现质子和中子内部存在点状结构。
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参考词条