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1)  micro-electrical system package
微电子系统封装
2)  micro electromechanical system packaging
微机电系统封装
3)  electronic system packaging
电子系统封装
4)  electronic pack system
电子封装件系统
5)  film sealed technology
微电子机械系统封装技术
6)  MEMS package
微系统封装
补充资料:电子探针微区分析
分子式:
CAS号:

性质:又称电子探针显微分析。试样非破坏性微区化学元素定性定量分析方法。试样直径在1μm、体积为1μm3范围,以直径0.1~1μm的电子束激发,其中各种元素受激发射出特征X射线。以此确定微区中所含化学元素,并根据其强度进行定量分析。可用显微镜确定试样某一位置上的组分及组分的空间分布。

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