1) point diffraction interferometer
点衍射干涉仪
1.
The diameter of pinhole or fiber is a critical element that affects the precision of point diffraction interferometer (PDI).
针孔或光纤直径的大小是影响点衍射干涉仪检测精度的重要因素,在实际检测中须根据检测任务的精度要求来选择小孔的尺寸。
2) phase-shifting point diffraction interferometer
移相式点衍射干涉仪
1.
Technical problems in phase-shifting point diffraction interferometer;
移相式点衍射干涉仪的几个关键技术
2.
The paper ultilized the phase-shifting point diffraction interferometer,which was designed and constructed for the purpose of developing wavefront measure.
本文以应用于极紫外光刻光学系统波像差检测中的移相式点衍射干涉仪为基础,对干涉仪中几个关键技术进行了讨论,并给出了相应的解决方法。
5) diffraction interferometry
衍射干涉
1.
A point-diffraction interferometry was presented based on Fourier transform instead of the phase-shifting point-diffraction interferometry.
在相移算法的点衍射干涉术的基础上,提出了基于傅里叶变换的点衍射干涉测量术。
补充资料：X射线衍射仪
利用计数器来收集晶体衍射方向和衍射强度数据，进行物相鉴定或晶体结构分析的仪器（图1）。有多晶X射线衍射仪和单晶四圆 X射线衍射仪。X射线衍射仪由X射线发生器、测角仪和探测记录系统等 3部分组成（图2）。其工作原理是：粉末样品经一束平行的单色 X射线垂直照射后，产生一组以入射线为轴的同轴反射圆锥面族，计数管绕样品旋转,依次测量各反射圆锥面2θ角（即衍射角，又称布喇格角）位置的衍射线强度，即可获得表征物相的各种衍射数据，从而进行物相鉴定和晶体结构的研究。 X射线衍射仪是矿物学研究领域内的主要仪器,用于对结晶物质的定性和定量分析，还可确定类质同象混晶（固溶体）的成分，有限固溶体的固溶极限，区分晶质和非晶质结构的变化。测定晶体的有序－无序结构及其有序度，以及粘土矿物的混层结构等。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条