1) electrostatic comb
静电梳齿结构
1.
The driving mode, the advantage and disadvantage upon micro-actuator, the traits, applications and the principle of electrostatic comb-drive are introduced.
介绍了微执行器的驱动方式及各自的优缺点、静电梳齿结构的特点和应用以及静电梳齿结构的工作原理。
2) multi-comb structure
多梳齿结构
3) electrostatic comb drive structures
静电梳状驱动结构
4) electrostatic comb-drive structure
静电驱动梳状结构
5) electrostatics comb actuator
静电梳齿致动器
6) electrostatic comb drive resonator
梳齿静电谐振器
1.
With the help of the parameter based CAD software, the 3D model of the silicon micromechanical electrostatic comb drive resonator is constructed.
基于参数化的计算机辅助设计 (CAD)软件 ,对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模 ,以有限元分析软件为工具 ,进行了谐振器的模态分析、静态分析和谐响应分析 ,初步揭示了谐振器的静、动态特性 ,有助于改善设计效率和质量 ,展示了计算机辅助工程 (CAE)技术在微机电系统 (MEMS)研究中的重要作用。
补充资料：百齿梳
1.一种多齿的梳子。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条