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1)  piezoelectric micro-pressure sensor
压电微压传感器
1.
Novel type piezoelectric micro-pressure sensor which is composed of sensing element, inner preamplifier, isolation frame, fasket, cover board and shell has been developed.
研制了一种新型的压电微压传感器,它主要由敏感元件、内置前置放大器、塑料支架、垫圈、盖板和外壳组成,敏感元件为单晶片结构。
2)  Micropressure Transducer
微压传感器
1.
The Role of Four-electrode Chemical Etching in Production of Micropressure Transducer;
四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用
3)  micropressure sensor
微压传感器
1.
Novel method used to measure sensitivity of piezoelectric micropressure sensor;
测量压电式微压传感器灵敏度的新方法
2.
A new model of SOIM micropressure sensor is designed with electrostaticclose-joint technique of silicon boracium silicate glass and thinning technique of single crystalsilicon micrometer grade,acquiring the prepardtion method of this structure and itscharacteristics:high-temperature resistance, anti-shock, high limited pressure.
采用硅-硼硅酸盐玻璃静电封接技术、单晶硅微米级减薄技术和金属膜制做技术,设计了一种新型SOIM结构微压传感器,并对其结构、特性和制作过程进行了研究。
4)  Capacitive Micro-machined Low-pressure Sensor
电容式硅微微压传感器
5)  micromachined cap acitive differential pressure sensors
电容式微差压传感器
6)  pMUTs
微型压电超声传感器
补充资料:无弹性架压磁测力传感器压头


无弹性架压磁测力传感器压头


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