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1)  filtered cathodic vacuum arc technique
磁过滤阴极真空弧法
2)  FCVPD(filtered cathode vacuum arc deposition)
磁过滤阴极真空弧沉积
3)  DC filtered cathodic vacuum arc
磁过滤真空阴极弧
4)  FCVA
磁过滤阴极真空弧沉积系统(FCVA)
5)  FVAPD
磁过滤阴极真空弧沉积(FVAPD)
6)  Filtered cathodic vacuum arc source
磁过滤直流阴极真空弧源
补充资料:热阴极电离真空计(thermalcathodeionizationvacuumgauge)
热阴极电离真空计(thermalcathodeionizationvacuumgauge)

气体中的电子当它具有足够能量时,一旦与气体分子碰撞就会引起分子电离,产生正离子及电子。电子在一定的飞行路程中与分子的碰撞数正比于气体压强P,所以产生的正离子数也正比于压强P,这种利用离子电流的测量而获得真空数值的称为电离真空计。

为了实现以上的过程,需要有一个热阴极来发射电子,一个给电子以能量的加速并收集电子的加速极,以及一个收集离子的收集极。收集极与放大显示电路相连结就构成了真空计。

电离计的测量范围为10-3~10-7托,在上限处由于电子繁流使得离子流与压强的关系偏离线性的工作区,在下限处由于电子打到加速极产生了轫致辐射,此辐射又在收集极上产生光电子,此光电子的量值相当于在10-8托下的离子流,所以10-8托即成了测压的下限。

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