1) etching bath,etching tank
蚀刻槽
2) etching groove
刻蚀沟槽
3) Trench etching
深槽刻蚀
4) trough and step eroding
槽台刻蚀
5) Narrow trench etching
窄沟槽刻蚀
6) etch of deep silicon trenches
硅深槽刻蚀
补充资料：光蚀刻
光蚀刻
photoetching
简称光刻。利用照相手段制作抗蚀膜像，用来保护表面，在金属、塑料等上面，借助腐蚀剂进行腐蚀的方法。应用于制作印片或电器的线路板等。
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参考词条