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1)  etching of deep Si trenches
Si深槽刻蚀
2)  Trench etching
深槽刻蚀
3)  etch of deep silicon trenches
硅深槽刻蚀
4)  deep-etching bath
深蚀刻液槽
5)  Silicon grating foil
Si刻蚀膜
1.
Silicon grating foil used to analyze the image transfer function in XUV radiography system;
XUV成像系统中像传递函数研究用的Si刻蚀膜
6)  etching groove
刻蚀沟槽
补充资料:SI
    有机硅树脂简称SI,是由三乙氧基硅烷等缩合而成。溶于乙醇、丁醇、醋酸乙酯、丙酮、苯、甲苯、环己酮等。预聚体在低温下能快速固化,固化后的树脂硬度高、耐热、耐磨、耐辐射、耐水、防潮、耐大气老化,低温(-50℃)不脆化。透明度高,可见光透光率90%以上。无毒。
    用作酚醛树脂和环氧树脂剂的改性剂,可提高耐热性和耐水性贮存于阴凉、通风、干燥的库房内。
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参考词条