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1)  cathode layer method
阴极层弧光法
2)  arc cathode
电弧阴极,弧光放电阴极
3)  cathode arc source
阴极电弧源法
1.
Effects of process parameters on synthesis of aluminium nitride thin film with cathode arc source assisted by electrons bath;
工艺参数对电子浴辅助阴极电弧源法合成AlN薄膜的影响
2.
The nucleation and growth process of AlN thin film synthesized by activated reactive ion plating with cathode arc source assisted by electrons bath was researched.
研究了电子浴辅助阴极电弧源法合成 Al N薄膜的形核生长过程 ,并对生长机理进行了初步的探
3.
A new synthesizing aluminum nitride thin film method,which used activated reactive ion plating with cathode arc source assisted by electrons bath,was introduced.
研究了 N2 流量、阴极偏压、工作气压等工艺参数对电子浴辅助阴极电弧源法合成 Al N薄膜质量的影响规律及其原因。
4)  cathode spot
阴极斑点,阴极弧光,阴极炽点
5)  cathodic arc
阴极弧
1.
The system include pulse cathodic arc ion deposition,direct current cathodic arc ion deposition,magnetic sputtering and electronic beam evapora- tion technologies.
该系统集脉冲阴极弧离子镀、直流阴极弧离子镀、磁控溅射和电子束蒸发等镀膜工艺以及气体和金属离子注入于一体。
6)  cathode arc
阴极电弧
1.
Preparation of Ti-Ni alloy hydrogen storage films by cathode arc method and research on their electrochemical characteristics;
阴极电弧法制备Ti-Ni合金贮氢薄膜及其性能研究
补充资料:阴极层激发法
分子式:
CAS号:

性质:也称阴极层激发法(cathode layer excitation)。发射光谱电弧法利用电极富集待测元素,提高灵敏度的一种方法。将微量试样置于下电极(阴极)上,待测元素被电离,由于电场作用,离子重新得到电子,复合成中性原子。阴极附近形成离子及原子富集区,致使元素发射谱线增强。

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参考词条