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1)  high contrast plate
高反衬底片
2)  lith film
高反差底片
3)  foot liner
底脚衬片
4)  substrate [英]['sʌbstreit]  [美]['sʌbstret]
衬底片
例句>>
5)  high resistance substrate
高阻衬底
1.
The results show that reasonable design can improve latch up immunity in high resistance substrate,the validity is proved in si.
对于确定的设计规则,还比较了不同电阻率衬底材料的CMOS单元中的闩锁效应,结果表明合理设计可以有效地改善高阻衬底的寄生闩锁效应,仿真结果验证了正确性。
6)  substrate reflectivity
衬底反射率
1.
Conventional single bottom antireflective coatings(BARC) cannot control reflectivity(substrate reflectivity) at the resist-substrate interface.
在高数值孔径光学光刻中,成像光入射角分布在较大范围内,传统的单底层抗反膜不足以控制抗蚀剂-衬底界面反射率(衬底反射率)。
补充资料：底脚
1.落脚处;住址。 2.犹底细。
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参考词条