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1)  MEVVA ion source
MEVVA离子源
1.
MEVVA ion source and its application;
MEVVA离子源及其应用
2)  MEVVA plasma source
MEVVA等离子体源
3)  metal vapor vacuum arc (MEVVA) ion implantation
MEVVA源离子注入
4)  MEVVA ion implantation
MEVVA离子注入
5)  MEVVA ion source
MEVVA源
6)  MEVVA source
MEVVA源
1.
Different dose of Mo ion implantation into 65Nb steel with and without additional C ion from MEVVA source is investigated.
利用 MEVVA源引出 Mo离子和 C离子 ,对 65Nb钢进行了不同剂量的离子注入 ,通过硬度测量、XRD、AES等方法研究了注入前后 65Nb钢改性层的性能、成分及相组成的变化。
补充资料:低压电弧离子源
分子式:
CAS号:

性质:一种放电型离子源,结构类似于电子电离源,工作气体压力1.0~0.1Pa,电阴极灯丝发射电子束,在阳极引力作用下,以一定的能量与试样气体碰撞,产生低压弧光放电,导致气体电离。低压电弧离子源能产生很强的离子流,常被用在大型电磁分析器上。

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参考词条