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1)  Electro-Static Driven Comb Micro-resonant Structure
静电梳微谐振子
2)  Electro-static driven comb microresonator
静电梳微谐振器
3)  Electrostatic comb silicon micro resonators
梳状硅微静电谐振器
4)  electrostatic comb micro-resonators
静电梳齿微谐振器
1.
Parameter design of electrostatic comb micro-resonators
静电梳齿微谐振器结构参数化设计
5)  electrostatic comb drive resonator
梳齿静电谐振器
1.
With the help of the parameter based CAD software, the 3D model of the silicon micromechanical electrostatic comb drive resonator is constructed.
基于参数化的计算机辅助设计 (CAD)软件 ,对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模 ,以有限元分析软件为工具 ,进行了谐振器的模态分析、静态分析和谐响应分析 ,初步揭示了谐振器的静、动态特性 ,有助于改善设计效率和质量 ,展示了计算机辅助工程 (CAE)技术在微机电系统 (MEMS)研究中的重要作用。
6)  Laterally driven resonantor suspended with one-side straight-leg beam
单侧支撑直脚型静电梳状硅微谐振器
补充资料:谐振子


谐振子
oscillator, harmonic

[补注1 [A正1 Arnol‘d,V 1.,Mathe皿t:cal卿th。〔15 of classlcal rnCch翻cs,Spnnger,1978(译自俄文). 【AZ 1 Seh湃L .1.,Quantum毗chanies,McGraw一Hill, 1949、杜小杨译谐振子〔蝴锐场叙丫,har~;oe““朋:rop,r叩Mo““-”ec心“1 一个单自由度系统,其振动由方程 无+田Zx二0来描述.相轨道是圆,振动的周期T=2兀/o,与振幅无关.谐振子的位能依赖于x的平方: 。2叉2 U之立竺‘竺-, 一, 谐振子的一些例子是:摆的微小振动,固定在刚性不变的弹簧上的质点的振动,最简单的电子振荡电路.“谐振子”和“线性振子”常常作为同义词使用. 量子力学线性振子的振动由阳诚戏吃er方程(Sellr6dinger eq娜戒lon) h,d,沙」「_m。,Zx,1。 一三二一二六答口十}E一二兴井一.{少“O 2小dx‘L一2」了来描述.其中m是质点的质量,E是它的能量,h是Planck常数,。是频率.量子力学线性振子具有能级离散谱:E。=(n+l/2)h。,n=0,1,2,…;相应的本征函数可以由Her而te函数(Her而te fimction)来表示. “振子”这一术语适用于其运动带有振动特性的具有有限个自由度的(力学或物理)系统(例如,vdn derPol振子—表示处于位势为坐标的正定二次型的位势力场中的质点的振动的多维线性振子,见van妞Fbl方程(van der Pol equation)).对于“振子”甚至“线性振子”,显然都没有唯一的解释.
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参考词条