1)  measured length
被测长度
2)  tested element
被测要素
3)  Channel of measurement
被测通道
4)  inspected part
被测制件
5)  measured size
被测尺寸
6)  DUTs
被测件
1.
The tip-extension SOLT calibration,after which the measurement references plane arrive at inner-DUT,has been developed for direct measurement without de-embedding of on-wafer DUTs.
介绍了一种“针尖前移”的在片SOLT校准方法,使用这种校准方法可以将测试参考面直接校准到内部被测件,从而可以进行无去内嵌(De-embedding)操作的直接测量。
参考词条
补充资料:长度测量工具:测长机
          以线纹尺的刻度或光波波长作为已知长度﹐利用机械测头进行接触测量的光学长度测量工具(图1 测长机 )。测长机具有能在3个坐标内移动和2个坐标内转动的可调工作台﹐还带有不同测头和附件﹐常用於检定大尺寸量块和测量多种工件的内﹑外尺寸。测长机有 1米﹑3米﹑6米和6米以上等几种测量范围﹐分度值通常为1微米。为求结构紧凑﹐多数测长机不採用阿贝原则(见长度测量工具)﹐而採用爱宾斯坦光学系统。这种光学系统能自动补偿由於导轨直线度误差引起的测量误差。
         测量范围在1米以内的习惯上称为测长仪(图2 测长仪 )﹐它利用读数显微镜和带有线纹尺的测量轴组成的测量系统(习惯上称为阿贝头)进行接触测量。阿贝头的示值范围一般为 100毫米。测长仪有立式和卧式两种。它的结构设计一般符合阿贝原则﹐故通常也称为阿贝测长仪。立式测长仪和卧式测长仪的测量范围通常分别不大於250毫米和600毫米(测量范围大於100毫米时需要用量块调整零位)。前者主要用於测量外尺寸﹐后者主要用於测量较大工件或在立式测长仪上不易定位的工件如圆盘等的内﹑外尺寸等。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。