2) RF/DC sputtering
射频/直流磁控溅射
3) Mid-frequency direct current magnetron sputtering
中频直流反应磁控溅射
4) DC magnetron co-sputtering
直流磁控共溅射
5) DC magnetron sputtering
直流磁控溅射
1.
Microstructures and Properties of Tantalum Film Grown by DC Magnetron Sputtering;
直流磁控溅射沉积钽膜的结构与性能研究
2.
Effects of thickness on microstructure and properties of Niobium films deposited by DC magnetron sputtering;
膜厚对直流磁控溅射Nb薄膜微结构的影响
3.
Optical and electrical properties of ITO thin films deposited by DC magnetron sputtering at room temperature;
室温直流磁控溅射制备ITO膜及光电性能研究
补充资料：直流
直流
Direct current
直流(direet。urrent) ，仅按一个方向流过电路或设备的电流称为直流。与交流电压相比，直流电压的极性是不变的。直流电流相当于电荷沿着闭合的电路以不变的方向流动或位移。直流电流和电压的幅值可以恒定，也可以随时间变化。 蓄电池和旋转发电机产生幅值恒定的额定直流电压，整流器产生幅值随时间而变的直流电压。整流器把交流电压变换为脉动的直流电压。 通常电站不是广泛地将直流电输配给一般用户，相反，在需要直流电(d。)能的场所，是把商业上合用的交流电(ac)能整流为直流电能。 「罗布(D.D.Robb)撰]
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参考词条